■可配置液体或气体样品；
■可实现标样加湿功能；
■两级高精度MFC控制；
■稀释比高；
■全自动运行，直接读取浓度，ppm，ppb或ppt；
■可针对不同用户的稀释要求定制产品。
APK6100E半导体行业超高纯(特种)气体稀释系统，是一款具有高精度高稀释比的升级产品，可稀释2到15种不同气体，稀释比可达到1:10000，二级稀释，高精度，带有加湿功能，可用于传感器生产商，半导体生产商的产品测试及科研院所的科学研究。可根据用户要求定制。
特点：
苯系物BTEX，PAMS，硫化物，TO-15，HCHO，SO2，N2O，NO2以及其他;
带有加湿功能，可控制稀释后气体湿度
高精度质量流量计（MFC），配制气体浓度精准
可选配液体标样稀释模块
功能：
1、单一/混合气体配制
通过质量流量控制器（MFC）顺序连接两种或多种标准气体，如顺序稀释或产生混合气体。可以单独稀释多种标准气体，也可以通过同时稀释多种的标准气体来产生混合气体。
2、苏玛罐罐冲
该系统配备了压力传感器，以精确的压力将稀释气体引入罐中。
3、控制温度和湿度
自动调节温度和湿度，在各种条件下连续产生气体。
4、液体标样气化稀释
可选配液体标样稀释模块
5、颗粒物发生装置
可选配颗粒物发生装置，模拟各种工况
以上功能均可根据客户实际需求组合定制。
应用：
传感器生产商
半导体生产商
科研院所
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